삼성전자, 로봇으로 배관 청소…반도체 '가동 중 정비' 특허 출원

배관 내부 이동하며 오염물 제거…내화학 소재·감지 센서 적용
오염물 흡입·밀봉 자동화…작업자 위험 노출 감소·효율 개선