산화 식각 장비 수요 확대 수혜 기대… 3D NAND 고단화 대응 및 생산능력 강화에이텍솔루션이재상 기자 "좋은 데이터 있어도 활용 못 해"…중기부, AX 역량 강화 나선다중진공-기보, 탄소감축 우수기업 투자유치 지원…기후테크 속도