中, 첫 국산 DUV 노광장비 생산 착수…ASML 주가 6% 급락

SMIC·화훙·CXMT에 올해 공급 예정…美 규제 속 반도체 장비 국산화 속도
"성능은 아직 ASML에 못 미쳐"…연간 생산도 5대 수준