지오엘리먼트, 반도체 호황에 1분기 영업이익 173% 급증

ALD 캐니스터 등 물량 확대…지오어플라이언스 흑자전환
"솔리드 캐니스터 양산 앞둬, 기술력 기반 점유율 확대"