'슈퍼 을' ASML, 1분기 매출 88억 유로 영업익 31.6억 유로

매출 13.3%↑ 영업익 15.3%↑… AI 호재에 연간 전망 상향
중국 의존도 30~40%→19%로 급감…"성장의 한해 될 것"