티씨케이 안성 사업장 (티씨케이 홈페이지 갈무리)

티씨케이는 지난 2019년부터 디에스테크노와 벌여온 특허 무효 소송과 심판에서 연이어 승소했다고 17일 밝혔다.

티씨케이는 반도체 에칭 공정에 사용되는 CVD 실리콘카바이드(SiC) 포커스링을 주력으로 제조·판매하는 반도체소재부품 기업이다.지난 12일 특허심판원이 디에스테크노가 제기한 무효심판에서 티씨케이의 또 다른 SiC 포커스링 특허의 특허성을 인정하는 심결을 했다.

이어 13일에는 특허법원은 디에스테크노가 제기한 심결취소의 소에서 티씨케이의 SiC 포커스링 특허 중 제법 발명의 특허성을 인정하는 판결을 내렸다.

티씨케이는 CVD 챔버에서 SiC 원료가스를 분사하는 여러 개의 노즐들을 순차적으로 사용하는 독특한 방식을 세계 최초로 도입했다. 기존 방식보다 CVD SiC 포커스링의 내플라즈마성을 향상시키면서 효율적인 공정을 구현할 수 있도록 했다.이에 경쟁사 디에스테크노가 유사한 제조 방법을 활용해 SiC 포커스링 사업 진입을 시도했고, 티씨케이는 SiC 제조 방법과 물성에 대해 특허 소송을 제기했다. 지난 12일과 13일의 판결은 티씨케이 특허 기술의 고유성을 인정받고, 유효성을 확인한 것이다.

이번 소송 결과를 바탕으로 티씨케이는 특허 침해 소송의 절차를 촉진시켜 그 동안의 피해를 구제 받을 계획이다. 다른 특허 침해 회사에 대해서도 법적 조치를 통해 대응할 수 있는 토대를 마련하게 됐다.

티씨케이 관계자는 "주요 특허 무효소송과 심판에서 티씨케이가 모두 승소하면서 세계최고의 기술을 다시 한번 확인 받았다"면서 "앞으로도 특허를 침해하는 회사들에 대해서는 법적 조치를 강화할 것"이라고 밝혔다.


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