충남대-성균관대 공동연구팀, 차세대 '초박막 메모리' 신기술 개발

단일 UV-오존 처리로 5nm 이하 초박막 게이트 구현
복잡한 증착 공정 없이 비용 절감…3D 적층 메모리 파급 예고