고성능 반도체 벽 낮췄다…램리서치, 몰리브덴 증착 장비 공개

텅스텐 대신 몰리브덴 기반 원자층 증착 장비 '알터스 할로'
금속 배선 폭 좁아져도 저항 낮은 장점…낸드부터 양산 적용