"반도체 제조장비·부품 기술·특허 정보 한눈에"

(대전=뉴스1) 박찬수 기자 = 지식재산처가 반도체 제조장비와 핵심 부품의 기술·특허 정보를 체계적으로 담은 해설집을 발간해 특허심사 전문성 제고와 산업계 특허전략 수립 지원에 나선다.

지식재산처는 반도체 분야 특허심사의 전문성과 산업계의 특허 경쟁력 강화를 위해 '반도체 제조장비·부품 해설집 전(前)공정 편'을 발간해 누리집 등을 통해 디지털로 배포한다고 5일 밝혔다.

반도체 제조공정은 전공정과 후공정으로 이뤄지는데, 해설집은 반도체 전공정의 핵심 8대 단위공정인 클리닝(Cleaning), 확산(Diffusion), 화학기상증착(CVD), 물리기상증착(PVD), 화학기계적평탄화(CMP), 노광(Photo), 식각(Etching), 이온주입(IMP)을 중심으로 구성됐다. 각 공정에서 사용되는 주요 제조장비와 핵심 부품을 한눈에 이해할 수 있도록 체계적으로 정리했다.

민간에서 평균 28년 이상의 실무경험을 가진 반도체 전문 심사관들이 직접 집필에 참여했다.

주요 장비와 부품의 형상(사진), 기능, 특허분류(CPC·F-term), 심사 시 유의사항, 주요 국내외 관련 기업 정보 등을 함께 수록해 심사와 특허전략 수립에 직접 활용할 수 있도록 구성한 것이 특징이다.

반도체 제조장비는 반도체 칩을 생산하는 공정에 사용되는 각종 기계와 설비를 말한다. 대표적인 제조장비로는 △노광(회로를 웨이퍼에 새기는 것) 장비 △식각(불필요한 부분을 깎아내는 것) 장비 △증착(얇은 막을 입히는 것) 장비 등이 있다.

김희태 반도체심사추진단장은 "반도체 공정의 미세화·첨단화가 가속화될수록 제조장비와 핵심부품의 기술 경쟁력이 국가 반도체 산업 경쟁력을 결정하는 중요한 요인으로 부각되고 있다"며 "해설집이 특허 심사관의 전문성 제고와 심사품질 향상에 기여하고, 중소·중견기업의 연구개발과 특허전략 수립에 유용한 길잡이가 되기를 기대한다"고 밝혔다.

pcs4200@news1.kr