국민대 신소재공학부 정종호 학생이 SCI 학술지에 게재한 반도체 관련 논문의 일부. (국민대 제공) © 뉴스1

국민대학교는 신소재공학부 4학년 정종호 학생이 제1저자로 참여한 논문이 SCI 학술지인 '머티리얼즈 레터스'(Materials Letters)에 게재했다고 6일 밝혔다. 이 학술지는 반도체를 포함한 응용물리학과 재료공학 분야의 SCI 학술지로 네덜란드에서 매달 두 차례 발행된다.

정종호 학생은 논문에서 실리콘 반도체 공정에서 널리 사용하는 불화탄소(CF4) 플라즈마 공정을 이셀렌화텅스텐 트랜지스터에 적용해 공정 조건에 따라 기존의 연구결과와 상반된 결과가 나타나는 것을 증명했다. 통상 불화탄소 플라즈마 공정 후 양전하인 정공주입효과가 나타나는 것으로 알려져 있지만 정종호 학생은 공정 조건에 따라 음전하인 전자주입효과가 나타날 수 있다는 사실을 최초로 확인했다. 이번 연구결과는 향후 이셀렌화텅스텐을 포함한 2차원 반도체의 실용화 연구에 크게 기여할 것으로 예상된다.

정종호 학생은 "학부연구생을 시작할 때 이렇게 좋은 결과를 얻을 줄 몰랐는데 연구기회를 준 교수님과 연구를 도와준 대학원생들에게 감사하다"라며 "학부연구생 경험을 바탕으로 졸업 후 반도체 산업 발전에 기여하고 싶다"라고 말했다.


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