에이텍솔루션, '세미콘 코리아2026'서 실리콘 장비 제품군 전시
산화 식각 장비 수요 확대 수혜 기대… 3D NAND 고단화 대응 및 생산능력 강화
- 이재상 기자
(서울=뉴스1) 이재상 기자 = 주식회사 에이텍솔루션은 오는 13일까지 3일간 서울 강남구 코엑스에서 개최하는 ‘2026세미콘 코리아’에 참가해 본사의 ‘실리콘 장비 제품군’을 전시 중이라고 12일 밝혔다.
에이텍솔루션은 지난해 'Electrode(Cathode)'와 'Si Ring'을 선보였으며, 최근 주력 고객사의 산화 식각장비(Oxide Etcher) 수요 증가에 따라 실리콘 부품(Si)과 실리콘카바이드 링(SiC Ring) 수요 확대의 수혜가 집중될 것으로 기대한다.
또한 올해 하반기부터 200단 이상의 3D NAND 고단화 트렌드가 재차 본격화될 것으로 전망되면서 실리콘 파츠 수요 역시 회복될 것으로 보고 있다.
Electrode(Cathode)는 실리콘 플레이트의 마이크로 홀을 흐르는 가스에 RF 전력을 인가해 플라스마 상태로 만드는 웨이퍼 에칭 기술에 사용되는 핵심 파츠다. Si Ring은 ESC의 웨이퍼 주변에 장착돼 균일한 플라스마 밀도와 에칭 속도를 유지함으로써 공정 안정성과 수율 향상에 기여하는 제품이다.
에이텍솔루션의 'Wafer Reclaim'은 2018년 삼성전자 'Best Contribution Award'를 수상했다. 이후 2021년 제48회 상공의날 산업통상자원부 장관상, 2022년 제18회 천안시 기업인의 상 종합 대상, 2022년 제59회 무역의 날 700만불 수출의 탑, 2023년 중소기업 유공자 포상 모범 중소기업인 부문 산업포장 등을 수상하며 지속적인 성과를 인정받고 있다.
회사 관계자는 "이번 전시회를 통해 에이텍솔루션이 관련 분야에서 최고의 기술력을 갖춘 기업으로써 우수한 성과를 이어가며 국위선양과 국부 창출에 앞장설 것"이라고 밝혔다.
이어 "현재 아산공장을 증축 중이며 오는 8월 준공을 목표로 하고 있다"며 "9월부터 본격적인 생산에 돌입해 증가하는 실리콘 웨이퍼 수요에 적극 대응하고, 생산능력 확대를 통해 성장 기반을 더욱 강화해 나갈 계획"이라고 말했다.
alexei@news1.kr
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