한국판 'ASML' 국내 첫 EUV기업 이솔, 원주에 새 터전 만든다

(원주=뉴스1) 신관호 기자 = 한국판 'ASML'(네덜란드 시총 1위 반도체공정장비사) 꿈꾸는 ㈜이솔이 강원 원주시에 새 터전을 구축키로 하면서 원주 반도체산업 비전에 탄력을 줄 전망이다. 이솔은 국내 유일 극자외선 'EUV'(Extreme Ultra-Violet) 반도체장비사로 원주에 500억 원대 투자계획을 밝혔다.

1일 원주시에 따르면 원주시와 이솔은 이날 오후 원주시청 투자상담실에서 EUV 광가속기 산업 투자협약을 맺었다. 이 협약은 이솔이 총 505억 원 규모의 투자로 원주시 부론일반산업단지에 소형 방사광가속기와 첨단 EUV 반도체 검사장비 연구·생산시설을 구축하기 위해 마련됐다.

앞서 시와 반도체관련 업계 등 확인결과, EUV는 극자외선으로 반도체 초미세공정에 필수적인 광원인데, 이솔이 국내 딱 한 곳뿐인 EUV 반도체 장비 회사라고 한다. 또 시는 이솔이 세계에선 4번째 EUV 반도체 장비 회사로 주목을 받고 있다고 설명했다.

또 시는 이솔이 세계에서 두 번째로 EUV 반도체 결함 리뷰 장비 상용화에 성공했고, 이외에도 세계 최초로 EUV 펠리클 투과측정장비와 EUV 마스크 위상 측정장비, EUV 간섭 패터닝 장비를 개발하며 글로벌 경쟁력을 키웠다고 부연했다.

특히 이솔은 세계적으로 EUV 노광장비로 이름을 알린 네덜란드 기업 'ASML'처럼 성장 가능성이 풍부한 기업이라는 평가도 받는다. EUV 반도체 결함 리뷰 장비를 개발해오면서 다수의 정부 연구개발(R&D) 과제도 수행하는 등 기술력을 검증받았다.

여기에 글로벌 반도체 업계와의 공동개발, 대기업과의 협업을 통해 성과를 내며 중소벤처기업부의 '소부장 스타트업 100'에 선정됐고, 산업통상자원부는 이솔의 EUV 기술을 국제표준으로 제안할 정도로 국가적 신뢰도 얻은 것으로 나타났다.

이 밖에 현재 이솔은 국내 특허 45건(등록 24·출원 21), 해외 특허 16건(등록 3·출원 13)을 보유하는 등 다양한 기술력 지표도 보여줬다.

이 같은 기업이 원주에 투자를 계획하면서 지역 반도체 산업 비전에도 힘이 실릴 것으로 보인다. 민선 8기 시는 그간 반도체교육원과 반도체 테스트베드를 구축키로 하면서 반도체 산업 기반을 닦아왔다. 국비와 도비 1113억 원을 확보해 반도체 소모품 실증센터, 미래차 전장부품 등 조성 중이다.

이런 가운데 이솔은 직접투자 505억 원에 더해 간접투자 약 250억 원(동반업체·부품공급·연구기관 등)도 내다보고 있다.

원강수 원주시장은 "시민의 도전과 열정으로 시작한 반도체산업이 착착 성과를 내고 있다"면서 "우리는 전국에서 가장 빠르게 성장하는 경제·산업도시로 도약할 것"이라고 말했다.

김병국 이솔 대표도 "컴팩트 방사광 가속기 상용화를 발판으로 EUV 장비와의 시너지를 극대화하며, 이를 기반으로 나노소재와 바이오 산업의 혁신을 이끌 기술을 원주에 정착시켜 지역과 함께 성장하겠다"고 강조했다.

skh881209@news1.kr