美상무, ASML 압박…"최첨단 반도체 장비 中 밀반출 가능성 우려"

(서울=뉴스1) 윤다정 기자 = 하워드 러트닉 미 상무장관이 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML의 최첨단 반도체 제조 장비가 미국 수출 규제를 위반해 중국으로 반출됐을 수 있다는 우려를 전달했다고 18일(현지시간) 블룸버그가 보도했다.

블룸버그에 따르면 러트닉 장관은 몇 차례 회의를 통해 ASML 고위 경영진에게 이런 우려를 표명했다.

러트닉 장관이 문제 삼은 장비는 극도로 미세한 회로를 웨이퍼 위에 그려 넣는 데 사용되는 EUV 리소그래피(극자외선 노광) 장비다.

ASML의 최첨단 EUV 시스템은 스쿨버스 정도 크기에 무게는 180톤에 달한다.

ASML 측은 "ASML은 중국에 EUV 장비를 납품한 적이 없고, EUV 장비에 특별히 사용되도록 설계된 부품, 모듈 또는 장비를 중국에 납품한 적도 없다"며 "EUV 장비는 소량 생산되며 직원들이 지속해서 유지 보수해야 한다"고 강하게 반박했다.

앞서 로이터는 지난해 12월 중국에서 ASML 출신 전직 엔지니어들로 구성된 팀이 EUV 장비 시제품을 개발했으며, 이 프로젝트가 중국판 '맨해튼 프로젝트'로 묘사되고 있다고 보도한 바 있다.

'맨해튼 프로젝트'는 제2차 세계대전 기간 미국이 주도하고 영국과 캐나다가 공동 참여한 핵폭탄 개발 프로그램으로, 중국이 반도체 자립을 국가 생존 과제로 다루고 있음을 가리키는 것으로 풀이된다.

maum@news1.kr