ASML 핵심 부품사 "中 최첨단 반도체장비, 서방보다 15년 뒤져"

(서울=뉴스1) 신기림 기자 = 중국이 최첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 자체 개발하려면 앞으로 약 15년이 걸릴 것이라는 전망이 나왔다.

세계 유일의 EUV 노광장비 제조업체인 네덜란드 ASML에 핵심 광학부품을 독점 공급하는 독일 자이스그룹의 프랑크 로문트 반도체사업부문 최고경영자(CEO)는 중국이 최첨단 반도체 제조장비 분야에서 서방보다 약 15년 뒤처져 있다고 평가했다.

로문트 CEO는 3일 블룸버그TV와 인터뷰에서 중국이 EUV 노광장비를 자체 개발하는 데 15년 정도가 필요할 것이라는 전망에 대해 "합리적인 추정"이라고 말했다. 다만 중국의 실제 기술개발 수준을 정확하게 측정하기는 어렵다고 그는 덧붙였다.

EUV 노광장비는 첨단 반도체 제조의 핵심 장비다. 극도로 짧은 파장의 빛을 이용해 웨이퍼(실리콘 기판)에 미세한 회로를 새기는 기술로 엔비디아의 인공지능(AI) 가속기에 들어가는 최첨단 반도체 생산에 필수적이다.

현재 전 세계에서 EUV 노광장비를 생산할 수 있는 업체는 ASML이 유일하다. 자이스는 ASML의 EUV 장비에 들어가는 핵심 광학 시스템을 독점 공급한다.

미국은 중국이 최첨단 AI 반도체와 제조기술을 확보하지 못하도록 ASML의 EUV 장비 중국 수출을 차단하고 있다. 이에 맞서 중국 정부는 반도체 자립을 목표로 자국 산업에 막대한 자금을 투입하고 있다.

UBS도 이번주 중국이 자체 EUV 기술을 개발하려면 최소 10년이 더 필요할 것으로 전망했다.

다만 EUV보다 한 세대 이전 기술인 심자외선(DUV) 노광장비에서는 중국이 상당한 진전을 보이고 있다.

중국은 ASML의 DUV 장비를 대량으로 구매해왔다. 미국은 EUV뿐 아니라 ASML의 일부 첨단 침지식 DUV 장비에 대해서도 중국 수출 시 허가를 받도록 규제하고 있다.

최근에는 중국이 자체 침지식 DUV 장비 생산에 진전을 이뤘다는 보도도 나왔다. 지난 7월 상하이 소재 한 업체가 관련 장비를 생산하기 시작한 것으로 전해졌다.

로문트 CEO는 중국이 수십 년 동안 DUV 기술을 개발해왔다며 최근의 진전이 "실제로 놀라운 일은 아니다"고 평가했다.

그는 다만 "이제 이 장비들이 실제로 얼마나 뛰어난 성능을 갖췄는지 지켜봐야 한다"고 말했다. 그러면서 최첨단 반도체 제조장비 기술에서는 "우리가 여전히 훨씬 앞서 있다"고 강조했다.

로문트 CEO는 미국을 중심으로 한 대중국 반도체 장비 수출규제의 실효성에는 의문을 제기했다. 그는 기존 DUV 장비까지 수출통제 범위를 확대하는 방안에 대해 사업에도 부정적인 영향을 미칠 것이라고 지적했다.

로문트 CEO는 "우리는 이러한 수출규제가 긍정적인 효과를 낸다고 생각하지 않는다"며 "오히려 중국의 혁신을 가속하기 때문"이라고 말했다.

미국이 중국의 첨단 반도체 제조능력을 제한하기 위해 수출통제를 강화할수록 중국이 자체 반도체 장비 개발에 더 많은 자원과 인력을 투입하도록 자극할 수 있다는 지적이다.

자이스는 글로벌 반도체 공급망에서 핵심적인 위치를 차지한다. 회사에 따르면 자이스 부품은 전 세계 반도체 약 80%를 생산하는 과정에 사용된다. ASML은 지난 2017년 자이스 반도체 사업부문 지분 일부를 10억유로에 인수했다.

AI 반도체 수요가 급증하면서 자이스도 생산능력을 확대하고 있다. 독일 오버코헨 본사의 생산시설을 증설했고 다른 지역에도 신규 공장을 건설 중이다.

shinkirim@news1.kr