JSR마이크로코리아, 오창에 차세대 반도체 소재 생산공장 준공
웨이퍼 회로 패턴 형성하는 MOR 생산 체계 구축
- 김용빈 기자
(청주=뉴스1) 김용빈 기자 = JSR마이크로코리아가 30일 충북 청주 오창 외국인 투자 지역에서 차세대 반도체 소재 생산 공장 준공식을 했다.
공장 신설로 반도체 차세대 극자외선(EUV)용 포토레지스트인 금속산화물 레지스트(MOR)의 국내 생산 체계를 구축하게 됐다.
MOR은 EUV 노광 공정에서 웨이퍼에 미세한 회로 패턴 형성에 사용하는 소재다. 노광 광원의 파장이 짧아 더욱 미세한 회로 패턴 구형이 가능하다.
신용한 충북지사는 준공식에서 "JSR마이크로코리아가 세계적인 반도체 소재 기업으로 성장하고, 대한민국 반도체 산업의 미래를 밝혀나가길 기대한다"고 말했다.
준공식에는 신 지사와 신병대 청주부시장, 호리테츠로 JSR 대표, 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아 대표, 홍영기 삼성전자 부사장, 진성곤 SK하이닉스 부사장 등이 참석했다.
JSR마이크로코리아는 2003년 오창에 설립한 일본 JSR의 한국 법인으로 디스플레이 소재 분야에서 사업을 이어왔다.
vin06@news1.kr
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