나노종기원·템퍼스, 비접촉 적외선 온도센서·체온계 기술자립 성공

(서울=뉴스1) 조소영 기자 = 국내 중소기업이 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원(나노종기원)과의 양산기술 공동개발을 통해 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서'의 양산에 성공했다.

17일 과학기술정보통신부는 나노종기원과 중소기업 템퍼스가 이같은 성과를 냈다고 밝혔다.

이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환 공정을 적용해 높은 수율(결함이 없는 합격품의 비율) 확보가 가능하다.

미세기계전자시스템(MEMS) 기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목시킴으로써 생산성을 획기적으로 향상시켰고 경쟁사 대비 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보했다.

또 공정 단순화로 가격경쟁력을 높인 것이 장점이다. 마이크로 적외선 센서는 그동안 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해왔다.

최근 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 방역의 일환으로 비접촉식 체온계의 수요가 증가하고 있는 가운데 이미 센서 500만개가 국내외 체온계 제작기업에 납품됐다.

아울러 온도센서와 함께 우리가 독자 제작한 비접촉식 체온계는 지난 15일 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 미국 수출을 앞두고 있다.

한편 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서기업인 트루윈에 이전하고 공동으로 양산기술을 개발한 이후, 양산단계까지 지원해 지난 3월 '적외선 열영상 센서' 상용화에 성공한 바 있다.

트루윈이 양산해 판매 중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나19로 인한 국내외 수요 증대로 올해 약 145억원의 매출이 예상된다.

cho11757@news1.kr