시노펙스, '반도체산업발전 유공자' 산업통상자원부 장관 표창 수상

(서울=뉴스1) 조현기 기자 = 시노펙스는 한국 반도체산업 발전에 기여한 공로를 인정받아 산업통상자원부 장관상을 받았다고 30일 밝혔다.

시노펙스는 수입에 의존해오던 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정의 필터 국산화에 성공했다. 또 관련된 다양한 필터 제품들을 공급해오면서 성능을 개선시켰다.

아울러 지난 2010년 반도체산업용 POU 필터 국산화에 성공한 후 국내 및 대만 등의 반도체공정에 필터를 공급하기 시작했다. POU필터는 반도체 제조공정 중에서 웨이퍼 연마에 필요한 슬러리(Slurry) 용액을 최종 여과하는데 사용되는 필터다. 반도체 퀄리티와도 직결되는 중요한 필터다.

회사를 대표해 수상한 이하나 시노펙스 팀장은 수입산이 주를 이루던 CMP용 POU 필터에서부터 여러 종류의 CMP용 카트리지(Cartridge) 필터 개발에 참여해왔다.

또 자회사인 에스엘바이오필터텍의 최연소 대표로서 마스크사업과 관련한 전반적인 업무도 지원하고 있다.

chohk@news1.kr