KBSI, 공초점 열반사 현미경 기술 상용화 '과기부장관상'

(대전ㆍ충남=뉴스1) 김태진 기자 = 한국기초과학지원연구원(KBSI·원장 신형식)는 장기수 광분석장비개발연구부장이 ‘2018년도 출연(연) 10대 우수 연구성과’ 시상식에서 ‘공초점 열반사 현미경 개발 및 상용화 기술’ 성과가 과학기술정보통신부 장관상을 수상했다고 17일 밝혔다.

공초점 열반사 현미경을 개발해 반도체와 디스플레이 소자의 발열 특성을 측정, 분석하는 장비 국산화에 기여한 공로를 인정받은 것이다.

KBSI 연구장비개발본부 광분석장비개발연구부 장기수·김동욱 박사팀이 개발한 공초점 열반사 현미경은 레이저 빛을 이용해 마이크로 크기 전자소자의 내·외부 발열을 입체적으로 측정할 수 있는 연구장비다.

기존의 적외선 방식 열영상 현미경에 비해 분해능(해상도)이 10배가량 뛰어나다. 소자 표면뿐만 아니라 내부 발열 분포까지 측정이 가능해 반도체, 디스플레이 등 국내 주력 산업의 발열문제 해결에 많이 활용될 것으로 기대된다.

개발책임자인 KBSI 장기수 부장은 “공초점 열반사 현미경은 세상에 없던 신개념 연구장비”라며 “2017년 8월 나노스코트시스템즈(주)에 기술이전 이후에도 사업자·이용자와 지속적으로 협력하며 상용화에 노력한 점을 인정받은 것 같다”고 말했다.

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