신성이엔지, '반도체대전'서 제습·청정 통합 장비 등 혁신기술 공개

(서울=뉴스1) 원태성 기자 = 신성이엔지가 오는 22일부터 24일까지 서울코엑스에서 열리는 '반도체대전(SEDEX 2025)'에참가해 기존 청정장비에 제습 기능을 더한 첨단 클린룸 설루션을 선보인다고 20일 밝혔다.

고도화된 반도체 공정에 특화된 이장비는 습도감지 센서와 자동제어시스템으로 팹내 공기 중 수분을 제거하고 일정한 습도를 유지한다. 이를 통해 웨이퍼부식 과회로 이상을 예방해 수율향상에 기여한다.

신성이엔지는 또한 HPL(High Performance Lift)도 선보인다. 이 장비는 클린룸 천장 시공 시 고소 작업을 지상 모듈화 방식으로 전환해 안전성을 크게 높였다. 작업대 범위를 확장하고 상부 설비를 동시에 시공할 수 있어 공정을 단축시킨다. 이를 통해 고객사의 팹 시공 기간과 비용을 절감하며, 안전사고 예방으로 ESG 경영에도 힘을 보탠다.

이외에도 △레이저와 고감도 카메라로 미세입자를 실시간 시각화하는 미립자 가시화 시스템 △외부 공기를 정화해 안정적인 클린룸 환경을 조성하는 OAC(Outdoor Air Control Unit) △유해가스 제거와 청정기능을 강화하면서 에너지를 절감하는 ICF(Internal Chemical Filter FFU)등 다양한 혁신 장비가 전시된다.

신성이엔지 관계자는 "이번 전시는 당사의 클린룸 초격차 기술을 직접 확인할 수 있는 기회"라며 "첨단 반도체 분야의 클린룸 사업을 넘어 데이터센터를 포함한 HVAC(냉난방공조인프라)분야로 사업영역을 확장하며, 글로벌시장에서 선도적인 설루션 기업으로 성장하고 있다"고 말했다.

khan@news1.kr