삼성디스플레이, 불산 국산화 성공…세정 공정에 투입

일본 수출 규제 조치 이후 약 3개월만

1일 오후 서울 서초구 삼성전자 딜라이트를 찾은 관람객이 전시된 반도체와 디스플레이 소개 화면을 살펴보고 있다. 일본 정부는 이날 플루오린 폴리이미드, 리지스트, 고순도 불화수소(에칭가스) 등 반도체와 디스플레이 패널 핵심소재에 쓰이는 3개 품목에 대해 한국 수출 규제를 강화한다고 공식 발표했다. 추가로 외국환관리법상 우대제도인 '화이트(백색) 국가' 대상에서 한국을 아예 제외하는 내용으로 정령(한국의 시행령에 해당)을 개정하기 위해 이날부터 의견수렴에 들어간다고 밝혔다. 2019.7.1/뉴스1 ⓒ News1 구윤성 기자

(서울=뉴스1) 권구용 기자 = 삼성디스플레이가 불산의 국산화 테스트를 완료하고 생산공정에 적용한다.

7일 디스플레이업계에 따르면 삼성디스플레이는 최근 국산 불산(액상 불화수소)의 품질과 공정 적용 테스트를 완료하고 생산라인 투입을 준비 중인 것으로 알려졌다.

이번에 삼성디스플레이의 생산공정에 투입될 예정인 불산은 세정 공정에 투입될 것으로 알려졌다. 또한 공급선 다양화와 공급 업체의 재고 등의 이유로 전량 국산으로 대체되지는 않을 것으로 보인다.

불화수소는 디스플레이와 반도체 제조 공정에서 패널이나 회로를 원하는 모양으로 식각하거나 표면을 세정하는 데 주로 사용된다. 식각은 기체 형태의 불화수소와 액체 형태의 불화수소를 사용하는 것에 따라 건식과 습식으로 나뉜다.

삼성디스플레이의 국산 불산의 생산라인 적용은 지난 7월 일본의 반도체·디스플레이에 들어가는 핵심소재 3종에 대해 수출을 규제하는 조치 이후 단행한 지 3개월 만이다.

앞서 LG디스플레이 또한 지난 달 초 불산의 테스트를 마치고 대형 OLED 패널 공정에 투입한 것으로 알려져, 이번 삼성디스플레이의 국산 불산 생산라인 투입으로 일본산 소재에 대한 의존도는 낮아질 것으로 보인다.

한편 디스플레이 패널 생산 제조공정은 나노 수준의 반도체 공정보다 초고순도 불화수소가 필요한 부분이 적고, 쓰이는 양도 반도체 공정에 비해 많지 않다는 것이 업계의 설명이다. 반도체 회로 식각의 경우 순도 '99.9999999999'(트웰브 나인)급의 초고순도 불화수소가 필요하다.

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